物理解析技術を駆使したPVD皮膜開発

JFE技報 ONLINE ISSN 2185-4327 / PRINT ISSN 1348-0669

No.37 2016年2月 分析・解析特集号

物理解析技術を駆使したPVD皮膜開発
Practical Use of Microbeam Analysis in Development of PVD Coatings

寺尾 星明 TERAO Hoshiaki JFE精密 取締役・博士(工学)
桜井 雅彦 SAKURAI Masahiko JFE精密 技術部次長
和田 雷太 WADA Raita JFE精密 技術部次長・博士(工学)
仲道 治郎 NAKAMICHI Haruo JFEスチール スチール研究所 分析・物性研究部 主任研究員(副部長)・博士(工学)

要旨

物理蒸着法(PVD)コーティングは,表面に高硬度,高耐熱性などの特性を有する皮膜を形成させることにより,切削工具や金型,機械部品などの長寿命化を実現し急速に普及してきた。近年の皮膜は,さらなる高性能化により,長寿命化だけでなく高硬度材料の切削,高強度ハイテンのプレス成形,高精度の冷間鍛造など,従来不可能であった新しい加工方法が実現でき,適用範囲がさらに拡大している。JFE精密では,JFEスチールをはじめとするJFEグループが持つ物理解析技術を生かして,SXシリーズやVSX®シリーズなどの独自の高性能皮膜を商品化し,PVD皮膜の適用範囲を拡大している。その高性能皮膜の開発では,高度な物理解析技術の活用が非常に有効である。

Abstract

Recently higher performance new films by physical vapor deposition (PVD) coating are expected to achieve longer life of cutting tools, metal molds, machine parts, and other materials. These films are expected to introduce new working methods such as dry milling for high-speed steel (HSS), mold pressing for ultra high tensile strength steel and net shape cold forging. To commercialize such higher performance new films, JFE Precision has developed PVD coatings with multi-layer and/or nanosized-layer films named SX Series and VSX® Series in collaboration with JFE Steel. For the research and development, practical use of advanced analysis technologies is essential. Because precise surface analyses of worked films and sectional structure analysis of produced films are very important for basic data for the research and development.

本文

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