走査電子顕微鏡を駆使した鉄鋼材料表面・組織の情報分離可視化

JFE技報 ONLINE ISSN 2185-4327 / PRINT ISSN 1348-0669

No.37 2016年2月 分析・解析特集号

走査電子顕微鏡を駆使した鉄鋼材料表面・組織の情報分離可視化
Selective Visualization Techniques for Surface and Microstructure of Steel Products by Scanning Electron Microscopy

青山 朋弘 AOYAMA Tomohiro  JFEスチール スチール研究所 分析・物性研究部 主任研究員(副課長)・博士(工学)

名越 正泰 NAGOSHI Masayasu JFEスチール スチール研究所 分析・物性研究部長・博士(理学)

佐藤  馨 SATO Kaoru      JFEスチール スチール研究所 主席研究員・Ph. D.

要旨

JFEスチールは,走査電子顕微鏡(SEM)法を用いた最先端観察技術の開発とその鉄鋼材料への応用に取り組んでいる。本報では,鉄鋼材料のさまざまな情報を分離して可視化する技術,および低加速電圧での元素分析技術について紹介する。観察条件や検出器を適正に選択することにより,物質,形状,結晶方位といった多様な情報を分離して可視化することが可能となった。また,低加速電圧での元素分析では,表面感度および空間分解能の向上に加え,化学状態を識別できることを示した。これらの技術開発により,鉄鋼材料のミクロ構造と特性の関係を明確にする能力が向上し,新規鉄鋼材料の設計や開発にとってより有用な知見が得られるようになった。

Abstract

JFE Steel has developed observation techniques utilizing scanning electron microscopy (SEM) and their application to steel products. An appropriate selection of SEM conditions and detectors achieves selective imaging of surface information such as the chemical state, topography, mean atomic number, and crystallography. Elemental analyses under low primary electron energy improve spatial resolution and moreover enable characterization of chemical states. A combination of these techniques improves understanding of the relationship between the microstructures and important properties of steel products and can serve as a lodestar for the design and development of novel materials.

本文

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