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■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ 川崎製鉄技報 KAWASAKI STEEL GIHO Vol.25 (1993) No.1 ■■■■■■■■■■■■■■■■■■■ |
| ライン式クリーンルームにおける気流分布 Study on Airflow Fields in Line-Type Cleanroom 藤田 勉(Tsutomu Fujita) 末田 明(Akira Sueda) 浦 等(Hitoshi Ura) 白石 健(Takeshi Shiraishi) |
| 要旨 : ライン式クリーンルームにおける気流分布を適正にし，高清浄度の空間を効率的に得ることを目的に，始めに多孔板からなる細長い形状のサプライユニットにおける気流の吹き出し分布を調査した。流路断面積が徐々に減少するような構造にすると，長軸方向にわたりほぼ平準化された分布パターンを得ることができる。つぎに，空気の供給パターンが室内気流分布に及ぼす影響を実験，あるいは気流解析により調査した。ライン式クリーンルームでは渦流れや上昇流れが見られなく，ほぼ一様な下向きの気流分布となり，このため，発生する塵埃が速やかに除去される。清浄度回復特性が優れており，簡易な設備構成でクラス100までの高清浄度の空間環境を容易に実現できる。 |
| Synopsis : In order to improve the airflow fields in a line-type cleanroom, experiments or numerical simulations were conducted. At first, the outlet airflow from the air supply unit was studied. The outlet airflow pattern is recognized to be much improved in terms of uniformity, because of usage of flow passage-adjusting members. Then, the influence on room airflow patterns was investigated in terms of the shapes of air supply outlets, through two kinds of experiments. Several numerical simulations were carried out as well. Rotating streams or rising streams are not observed in the line-type cleanroom, and it is understood that airflow patterns are more unidirectional than in conventional non-unidirectional ones, so that dusts and other contaminants are removed with airflow effectively. The clean-up characteristic, was validated to be exceedingly high. It is possible to afford cleanrooms of even class 100 (Federal Standard 209D) with simple equipment. |
| 本文（PDF: 5P/265kb） |