■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
川崎製鉄技報
KAWASAKI STEEL GIHO
Vol.11 (1979) No.3
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■

X 線マクロアナライザーの完全自動化システムの開発
Development of Fully Automatic Control System of X-ray Microanalyzer

阿倍 忠廣(Tadahiro Abe) 森本 一三(Kazumi Morimoto) 鈴木 健一郎(Ken-ichiro Suzuki) 若村 忠男(Tadao Wakabayashi) 小柳 和夫(Kazuo Koyanagi) 川口 博巳(Hiromi Kawaguchi)
要旨 :
X 線マクロアナライザーを有効に活用するために,電子線系の制御からデータ解析まですべてを自動化させ,夜間も休日も無人連続運転ができる完全自動システムを開発した。このシステムの主な特長は,(1) 測定を止めることなく分析場所を決定・指示できる。(2) 23個の試料ホルダーが同時に装填できる。(3) プログラムの自由度が高く,多種多用な分析目的に効率よく対応できるなどである。これによって,熟練技術者を必要とした作業が簡素化され,しかも能率は3倍以上向上するので大幅な省力と迅速化が図れる。そのうえ,操作上の誤差要因が減少するとともに種々の補正が可能となるので,分析精度も著しく向上する。
Synopsis :
A fully automatic X-ray microanalyzer with its entire function from electron probe to deta analysis controlled automatically has been developed for a continuous, unmanned, operation with marked efficiency improvement. The main features of this system are as follows: (1) Analysis positions of test objects can be determined and registered easily without any interruption to the analysis. (2) Up to 23 specimen holders can be mounted in the analyzer at one time. (3) Analysis program can be easily applied to various kinds of analysis because of few limitations imposed on the program. Once the specimens have been loaded in the analyzer, the sysem allows several days of uninterrupted analysis, requiring no assistance from an operator. The system has also attained an almost three-time efficiency improvement over the conventional type. Furthermore, rigid control of various functions of the microanalyzer reduces error-causing factors, making various correction programs possible. This has remarkably improved the accuracy of the analysis.
本文(PDF: 19P/468kb)




(c)JFE Steel Corporation, 2003